【セミナー8/28】『スパッタリング』の基本と考え方 ， 膜の

スパッタリング率の測定法は？

■　講　師 有限会社アーステック 代表取締役 小島 啓安 氏 【名古屋大学 客員教授】 　 <経歴> 1977年 キヤノン(株)にて半導体露光装置用光学薄膜プロセス， 膜設計の開発に従事 　　　　　　 1982年 旭硝子(株)にて建築・自動車用硝子スパッタ，膜開発に従事 　　　　　　 2003年 (有)アーステックを設立 　　　　　　 2009年8月より 名古屋大学 客員...

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