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    高精度リニアステージ『トゥルー・ナノ・ポジショニング』

    【デモ機あり】繰り返し精度向上！ナノレベルで位置制御ができる、誤差を最…

    たリニアステージです。 6軸ステージにより３Dでの自由曲線を描くことができます。 独自6D precisionで従来のISOによる2Dと比べ、目標位置と実際の位置との誤差を計測し、そして、最小化することにより、真のナノメーターレベルの繰り返し精度を実現できます。 【特長】 ■X-Y-Z-θｘ-θｙ-θz　の組み合わせ自由 ■６D Precisionにより、真のナノメーター精...

    メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

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