【資料】パーティクルプラス高濃度測定手順書

測定前準備セッティングをゼロカウント調整から写真を用いてわかりやすくご…

当資料は、パーティクルプラス高濃度測定の手順についてご紹介します。 高濃度測定は測定機に過大な負荷を与える測定です。 パーティクルプラスブランド製品の高濃度対応技術と当資料でご紹介する 手順をご採択いただきましたら、適正且つ安定した計測をいただけますので ご利用ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■測定前準備セッティング～ゼロカウント調整～ ■測定前準備セッティング～...

メーカー・取り扱い企業： 伸榮産業株式会社 本社、関東営業所

リアルタイム計測『パーティクルカウンター』※技術資料進呈

作業環境、現場での大粒子パーティクルの管理システム構築のための技術資料…

『パーティクルカウンター』は、コンタミネーションコントロール 分野の製品を取扱っている、株式会社エアリーテクノロジーの 光散乱方式微粒子計です。 運用モデルでは、OPC単独での作業の局所・動的管理や、 蒸着機などのシステムと連動運用で、チャンバーオープンから 次ロットの基板投入までの工程管理を行っています。 当資料では、これらパーティクルカウンターの概念や改善ポイント、 近年...

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