クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソ...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター