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超高精度のリニアスケールを使用し、最大0.0156μmの分解能まで可能…
位置決め精度3μm以下 繰り返し位置決め精度±0.2μmを実現! ...【特徴】 ◯超高精度のリニアスケールを使用し、最大0.0156μmの分解能まで可能 ◯SVレールの独自な取り付け方法と配置を採用したため、 卓越したスムーズさ、安定した高い精度を実現 ◯フルクローズド制御と高い運動精度により ストローク全域において高い位置決め精度を実現 ◯高価なエアスライダーを使用せず、 ...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベアリング株式会社
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