【半導体業界向け】金属イオン溶出の無い自動着脱装置

金属イオン溶出の無い自動着脱用コネクタ（特許技術）を用いてウェハ洗浄液…

電子材料製造工場で、原料ラインから移動槽間と、移動槽から充填機への間の基板の洗浄液投入作業を自動化しました。 接液部がすべてPTFEの自動着脱コネクタ（カプラ）を開発し、金属イオンの溶出を0にしました。 また、内弁がPTFE一体成形のため洗浄性が非常に高いです。 ※Bod...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

【配管自動切換装置】ストレートタイプ

まだバルブで切換えてますか？ホースや配管切換作業の自動化を特許技術で実…

◎防爆エリアでの着脱作業や、高温水や塩酸等の危険物の着脱作業が無くなり、作業員の方を危険作業から解放します！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、一筆書きでの切替が出来るため、廃液や食品ロス、洗浄液を削減でき、SDGsに貢献します！ ◎クロスコンタミが無くなります！　 ◎省スペース化できます！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、シール類の予防保全の必要が無くなり、ランニングコストの削減...

メーカー・取り扱い企業： ナブテスコサービス株式会社 産業機械部　

【分析事例】溶液中の金属量調査

純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です

ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST