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ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果でコンタミ除去が出来ました。
去装置に通しても落ちないものが有るとのことでした。中性洗剤を使用しているとのことだったので小型のOKノズルOKE-MB07FJ(20L/min)を使用しました。 500Lタンクに中性洗剤が入った洗浄液は最初から白濁していて、マイクロバブルの発生状況が分からないので、エアーの自吸量を変えて実験し、最も洗浄が良い自吸量を選定したところ、ウエハーの超鏡面研磨の時と同じ効果が得られました。今回の洗浄も...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社OKエンジニアリング
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