ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィ…

す。 【特長】 ■さまざまな汚染物質の除去に使用可能 ・酸性ガス（SO2、HCl、HBr） ・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン） ・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS） ■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現 ■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能 ■グローバルな販売・サービス体制が整っている 詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社