ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

ドラフトチャンバー『ウォークインタイプ DFW型』

PR内部に大型の実験装置や機器を組込めるウォークインタイプのドラフトチャン…

『ウォークインタイプ DFW型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバー内部は床面より十分な有効高さを持っていますので、 フード内に大型の装置や機器を組み立てたり、外部で組み立てた装置を フード内に移動させることも容易に行えます。 独自の気流設計により床面に発生するガスもスムーズに排気されます。 オールステンレス製や防爆仕様等、ご要望に応じた設計が可能です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多田製作所

『高純度 酸洗浄 PFAボトルパック』

半導体製造前工程に使用する薬品、有機溶剤メーカー様向けのPFAボトル。…

に高純度の清浄環境や設備装置が求められています。 このような分析需要に対応すべく、当社はハイスペックな『PFAボトル』を 提供致します。 当製品は、元来金属イオンが少ない材質ですが、独自の洗浄技術により 極限まで金属イオンを削減しています。 【特長】 ■独自の技術で洗浄 ■過酷な環境でも金属イオン溶出を極微量に抑えられる ■金属イオンが少ない材質 ■極限まで金属イオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルイチフロロ販売

薬品・有機溶剤用ボトル『MF 酸洗浄PFAパック』

金属イオン溶出を極限まで低減。EUV用途での容器（ボトル）も開発中です…

『MF 酸洗浄PFAパック』は、独自の洗浄技術により、 極限まで金属イオンを削減したPFAボトルです。 金属イオン溶出値を30pptレベルから１pptレベルまで清浄化、 半導体製造前工程などで使用する薬品や有機溶剤の保存に好...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マルイチフロロ販売