【書籍】実験の自動化・自律化によるR&Dの効率化（No2230）

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書籍名：実験の自動化・自律化によるR&Dの効率化と運用方法 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ☆実験者、熟練度、実験日によるバラツキを削減！ ☆「ケタ違いの開発スピード」、「圧倒的なコスト削減」を実現する秘策を大公開！ －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント １．担当者に自発的にデータ入力を促すにはどうするか？ ２．異なる形式で散在している実験データの集積...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

［EBIC］電子線誘起電流

試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手…

SEM装置内で電子線を照射することで、試料内で正孔電子対が発生します。 通常は再結合して消滅しますが、空乏層など内部電界を有する領域で正孔電子対が生じた場合はキャリアが内部電界でドリフトされることで起電流として外部に取り出すことができます。 この起電流をEBIC（Electron Beam Induced Current）と呼び、SEM像と併せて取得することでpn接合の位置や空乏層の広がりを可...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST