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世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします…
水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。 ・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している ・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい ・真空室内に摺動部が無く潤滑が不要、また排気弁が不要 エドワーズの水封式ポンプは、シングルステージタイプとダブルステージタイプがあり、使用環境に合わせて、 最適な構造材料(ステンレス鋼、...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…
地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。 スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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*ロータリーポンプPascalシリーズ / 2 段式ステージ
業界トップクラスの基本性能
SDシリーズ:標準ポンプ •大気/希ガス用、粗引きポンプ用途 I シリーズ:研究開発や分析機器用途 •質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途 C1シリーズ:腐食性用途 •研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途 C2シリーズ:腐食性用途 •イオン注入、スパッタリング装置などの用途 HWシリーズ: ウェットガス用途 •凍結乾燥、真空乾燥、化学研究、滅菌、ロード...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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