【開発事例】タイミング発生装置

紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例を…

協立電機株式会社 技術開発部の『タイミング発生装置』の開発事例を ご紹介いたします。 当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、 高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。 そこで、紫外線発生装置2...

メーカー・取り扱い企業： 協立電機株式会社