オジープ処理ーOGEP-V3ー

腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨

オジープ処理(OGEP-V3)とはアルミ及びステンレスチャンバー（オーステナイト系・マルテンサイト系）に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。 オジープ処理はアルミニウムに行う「オジープ・Al」とステンレスに行う「オジープ・SUS」があります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オジックテクノロジーズ