【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真空下でも使用可能 ■低消費電力 ※詳しくはPDF...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー

【デモ機貸出可】把持・滑り止めパッド（IonPad）

高速搬送や高精度搬送を実現する、把持・滑り止めパッドです

わせなどにご利用いただける粘着タイプと、高速搬送の滑り止めなどにご利用いただける非粘着タイプがあります。 【特徴】 ■シリコンウェハやガラスのようなフラットなワークの把持が得意。 ■大気・真空を問わず使用が可能。 ■お手入れが簡単。繰り返しの使用が可能。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー