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ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…
今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…
ポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで構成されています。 主排気系の「PRD25-60」はルーツ真空ポンプ(メカニカルブースタポンプ) 「RD2500」とスクリュー型ドライ真空ポンプの組み合わせ。接ガス部は オイルフリーですので、吸入気体による油汚染とそれに伴う頻繁な油交換は不要。 副排気...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム
株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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