【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能！

【計算可能な事例(抜粋)】 ■シャワーヘッド型熱CVD(化学気相成長) ■真空蒸着 ■分子線エピタキシー(MBE) ■真空ポンプの排気 ■ダストの挙動シミュレーション ■極超音速希薄流 【特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェア ■真空チャンバーを用いる実験や装置開発に使用可能 ■CV...

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