【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット

ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介し…

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介

信頼性の高いターボ分子ポンプTG-Fシリーズを搭載した排気システム

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所