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    【分析事例】XPSによるDLCの評価

    C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価

    硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されてるDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2(グラファイト構造)とsp3(ダイヤモン...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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