ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィ…

「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。 さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。 【特長】 ■さまざまな汚...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社