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紫外線殺菌装置 マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造用途向け
持続可能な取組を通じて製品の回路不良のリスクを低減!化学薬品を使用しな…
当社で取り扱う紫外線ランプ搭載水殺菌装置「ULTRAAQUA」の、 マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造用途についてご紹介いたします。 マイクロエレクトロニクスや半導体業界では、洗浄に使用する超純水(UPW)には、 生産部品に悪影響を与えないよう高い品質が求められます。 当装置のUV技術は、水中の全有機炭素(TOC)濃度を制御できるため、 高品質の超純水を確保するのに適してい...
メーカー・取り扱い企業: 東芝ライテック株式会社 次世代ソリューション事業本部 UV水殺菌システム部
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