『枚葉式洗浄装置-2』

多種多様なニーズに柔軟に対応！クリーンルーム使用の洗浄機分野で実績多数…

『枚葉式洗浄装置』は、1.5インチから10世代まで対応可能な大型セル対応の洗浄装置です。 大型化に伴い、新たな問題点(ギャップ部の洗浄・乾燥)を重点課題に、洗浄ユニット 　(ブラシ、HPMJ、2流体など)を組み合わせ、乾燥でもエアーナイフ、スポットナイフ、 IRなどを組み合わせることにより、より優れた洗浄と乾燥を実現しています。 また、メンテナンス性、コストパフォーマンスにおいても...

メーカー・取り扱い企業： ＩＣＭ株式会社