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新コーティング技術で、センサ寿命3倍!最大45%のコストダウンを実現!
【EtchDefender (エッチディフェンダー)の特長】 ■ウエハへの異物付着の低減 石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。 ■耐久性 真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。 ■失透速度のスロー化 900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。 ■浸食速度のスロー化 石英管...
メーカー・取り扱い企業: IBPテクノロジー株式会社
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