常温吸着式精製装置

常温吸着式精製装置

合は 　系列切換時間が延びるため、省エネとなります。 ・省設置スペースを実現しました。 ・メンテナンススペースは装置正面と背面を基本とし、装置側面は密着設置ができます。 　（但し、耐震金具用のスペースは必要です。） ・各規格に対応（SEMI、ASME、ML等） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社