『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

(エッチディフェンダー)の特長】 ■ウエハへの異物付着の低減 　石英への付着性がよく、ウェハへの異物の汚染原因となる、石英管の表面剥離などの心配がありません。 ■耐久性 　真空高温下でも、腐食やアウトガスがありません。 ■失透速度のスロー化 　900℃以上の高温環境下のエピ装置内での、石英シースの失透を劇的に遅らせます。 ■浸食速度のスロー化 　石英管に、高濃度で吹き付けてくる腐...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社