【導入事例】表面処理『ウェルマイト』

アルマイト処理の応用技術！パーティクル発生を防止することができます。

陽極酸化処理) 『ウェルマイト』の導入事例をご紹介します。 とあるお客様から「半導体製造装置熱処理モジュールにて処理室内の 各種パーツ（アルマイト加工品）が溶剤や現像液などの揮発により 腐食してしまう。」などのご依頼を頂きました。 そこで当社はお客様の課題を解決する為『ウェルマイト』を開発。 採用後は、パーツの寿命が大幅に伸び、半導体の歩留まりも向上しました。 【事例...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オジックテクノロジーズ

オジープ処理ーOGEP-V3ー

腐食性ガス・放出ガスの発生を抑える電解研磨

はアルミ及びステンレスチャンバー（オーステナイト系・マルテンサイト系）に対応できる電解研磨です。半導体製造装置部品等に使用でき、真空装置の真空時に発生する放出ガスを抑える効果があります。電解研磨では腐食性の「硫黄ガス」が発生しますが、オジープ処理は発生しません。 オジープ処理はアルミニウムに行う「オジープ・Al」とステンレスに行う「オジープ・SUS」があります。 キーワード：電解研磨・硫黄・サ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オジックテクノロジーズ