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多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…
地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング 装置を納入した事例を紹介させていただきます。 今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード ロック室(...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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