ハードディスク表面欠陥検査装置　Laser Explorer

ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。 複数レーザーの同時照射によりスクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。 特長 ・高出力レーザーによる微小欠陥の検出 ・高いスクラッチ検出能力 ・欠陥の凹凸を弁別 ・全数オートフォーカス ・優れたコストパフォーマンス ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、 最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。 高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出！ ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます！ 【その他の特長】 ■高スループット（1カセット25枚を、約40分で検査） ■欠陥の凹凸を弁別 ■全数オートフォーカス ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ディスクチッピング検査装置　DSiS-2015

ガラス基板、メディア表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度…

ＣＣＤカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。 合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することが可能。 ・スループット　～800PPH（検査条件による） ・フットプリント 　　本体： 　　(W) 1380 × (D) 1700 ×(H) 2100 mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装