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半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍!多様なニーズに応えるラインアッ…
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Pen...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ブイテックス 本社
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