周辺機器　真空プローバーシステム

お客様のニーズに応えて新しい真空システムの誕生です！

め冷却、加熱機構の他、研究用途に応じた対応が可能 ○本体寸法：420ｍｍ（幅）ｘ420ｍｍ（奥行き）ｘ545ｍｍ（高さ） ○チャンバー内寸：φ150（内径）ｘ90ｍｍ（高さ） ○アルミニウム製扉：覗き窓（有効可視径：Φ96ｍｍ） ○外部フィードスルー用ポート（NW40）：3ポート ○真空排気ポート（NW40)：1ポート ○プローブ移動機構：X-Y-Zステージ　移動量±5ｍｍ 　　　　　　　　　　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー