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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…
ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ(反応性生成物対応仕様):TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ:TGkine3400M-R、TC0331M[新製品] ■磁気軸受形 複合分子...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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冷却水不要なのでコンパクトな自由設計!20000時間以上の長寿命!
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…
当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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