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    半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展

    ターボ分子ポンプやドライ真空ポンプなど電子部品や半導体製造に必要なポン…

    ポンプにもIoT対応が出来るよう、当社は考えています。 今回は半導体向け真空ポンプを中心に、当社の豊富なラインナップから製品をご紹介いたします。 【製品】 ■コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI ■磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］ ■磁気軸受形 複合分子...

    メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

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