ウエハー非接触搬送　ベルヌーイチャック BC-Kシリーズ

2～12インチウエハー平置き搬送用　空気で包んで優しく運びます。

ベルヌーイチャックは、ベルヌーイの原理を利用し空気を噴出することで、より強力な吸引力を発生します。 搬送物はベルヌーイチャックの表面端の部分を点接触し、回転することも無く、ウエハー中心部分を非接触状態で安定した保持力により搬送できます。 本体部一つで各ウエハーサイズに対応するよう設計しております。 【特徴】 ○持手の使用角度20度、45度、90度の3点より本体部を選択 ○対応インチの...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社