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技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…
【要旨】 最先端の二次イオン質量分析（SIMS）装置であるNanoSIMS 50Lは、プローブ径約50 nmのイオンビームと、透過率の高い質量分析系の併用により、従来のSIMSに比べて約2桁高い空間分解能でイメージング測定を行うことが可能である。本稿では、NanoSIMS 50Lの装置の特徴と分析事例を紹介する。 【目次】 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター
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