スーパーバブラーWAC

先進の電気抵抗率制御技術で超純水の静電気を抑制！！

徴】 ・半導体製造やFPD製造、ダイシング工程での洗浄水の電気抵抗率を最適 　化。 ・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上。 ・全機種電気抵抗率センサーが内蔵されているので据付・配管が容易で 　す。 ・最大通水量：3,000L/h、圧力損失：0.06MPa at 3,000L/h ・運転スイッチを押して電気抵抗率を入力すれば、瞬時に設定値 　±0.03MΩ・cmで制御が...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社