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真空配管設備 ヒータージャケットシステム [配管設備温度調節]
配管設備における温度調節を低価格で実現し、メンテナンスコスト節減!配管…
半導体、FPDの製造に用いられる特殊ガスは、温度の低下に伴い酸化・窒化する性質があるため、使用後、排ガス処理装置へ送る配管内においても、一定の温度を保ったまま排出しないと、酸化・窒化した固形物が配管内に残存し、配管をふさいでしまいます。 テクノフレックスのヒータ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノフレックス
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