【デモ機貸出可】ポリイミド静電チャック

クリーン度の維持に貢献！半導体製造装置やディスプレイ製造装置等に採用さ…

が少なく、 可動部が無いことから、クリーン度の維持に貢献します。 薄い製品や変形しやすい製品に、ストレスを与えずに把持することができ、 ウェハやガラスなどの搬送用に使用する場合、1W以下の電力で使用可能。 また、把持力は大気中だけでなく、真空中でも発現します。 大気と真空プロセスを併用する設備でもご採用頂いております。 【特長】 ■クリーンデバイス ■低ダメージ ■真...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブテクノロジー