東北大学技術：電子ビーム変調装置：T20-1565

電子ビーム集束時の球面収差を光で補正！磁場印可不要で簡便な光による電子…

電子顕微鏡の発明以来、電子ラウンドレンズ（円筒対称なレンズ作用）には電極板による電界型のレンズと、磁束コイルによる磁界型レンズが用いられている。電界/磁界型の電子ラウンドレンズは、原理的に負の球面収差を発生することが出来ないという制約がある。また、従来の非円筒対称な多極子レンズによる球面収差補正装置は、高価（1億円以上）であり、非常に複雑な機構であることがネックである。本発明は上記電子線集光装置の高精度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：微小粒子の結晶構造解析方法：T19-601

微小粒子研究者の困難を解消するEBSDサンプルホルダー が実現可能に!

ナノテクノロジーが目覚ましい発展を見せているなか、微小金属粒子の結晶構造を明らかにすることは、その特性を知るうえで重要となっている。金属の結晶構造解析は、走査型電子顕微鏡による電子後方散乱回折（EBSD）法を利用した測定が好ましい。 従来のEBSD法を用いた結晶構造解析方法では、導電性基板上に試料を配置したり、表面に導電性コーティングを施した樹脂に試料を埋め込ん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

東北大学技術：超電導磁気浮上型免振装置：T05-300

簡略なシステムにて、振動を完全に排除可能です。

地震時には、建物の倒壊回避のみならず、建物の機能性維持や財産保護が重要な課題となる。一方、半導体のステッパ装置や電子顕微鏡などの精密機器においては、常時、高精度な振動対策が必要となる。従来の免振装置は、「支承材」と「減衰材」という異なる役割を担う部材を組み合わせることによって免振効果を得ている。従って、振動発生源と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ