試料裏面マスクアライメント露光装置『BAシリーズ』

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光！ナノテックの露光…

できます。 コンパクトなので通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、 各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。 【特長】 ■裏面観察専用の双対物2視野CCD顕微鏡搭載 ■対物レンズ間隔最小16mm ■小型試料のアライメントまで可能 ■裏面アライメントに最適化されたフリーズワイプ処理装置を装備 ■試料アクセスに便利なフロントスライド式高精度アライメン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック