【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 　関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気シス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所