東京電子株式会社
最終更新日:2018-08-20 16:11:23.0
「クリスタル/コールドカソード」コンビネーションゲージ
基本情報「クリスタル/コールドカソード」コンビネーションゲージ
「クリスタル/コールドカソード」コンビネーションゲージ
<「クリスタル/コールドカソード」コンビネーションゲージ CC-10>
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。
大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。
○大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。
○高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。
コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。
真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。
大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。
構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました!
【特長】
■広い測定範囲を実現(10?Pa ~ 10-?Pa)
■真空計設置スペースを節減
■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現
■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用
■イージーメンテナンス
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
真空計『コンビネーションゲージ CC-10(NW25)』
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。
大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。
構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました!
【特長】
■広い測定範囲を実現(10^5Pa ~ 10^-7Pa)
■真空計設置スペースを節減
■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現
■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用
■イージーメンテナンス
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 「クリスタル/コールドカソード」コンビネーションゲージ
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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