恒温・均熱ステージ　PJ100

基本情報恒温・均熱ステージ　PJ100

精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに！15-40℃設定。

◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5）
◎真空吸着チャック機能
◎高精度ステージ（平坦度）
◎温度設定範囲（15-40℃）

サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ（±1℃、±0.5℃）◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ（平坦度）◎温度設定範囲15-40℃。（詳細を見る）

数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。

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