カタログ発行日：2021/3/30

二次イオン質量分析法_SIMS_A0014

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基本情報二次イオン質量分析法_SIMS_A0014

SIMS：Secondary Ion Mass Spectrometry

イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。

・高感度（ppb～ppm）
・HからUまでの全元素の分析が可能
・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで）
・標準試料を用いて定量分析が可能
・深さ方向分析が可能
・数～数十nmの深さ方向分解能での評価が可能
・数μm角までの微小領域の測定が可能
・同位体分析が可能
・破壊分析

この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。

取扱会社二次イオン質量分析法_SIMS_A0014

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

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