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最終更新日:2021-05-19 12:02:26.0

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  • カタログ発行日:2021/4/12

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価_0047

基本情報【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価_0047

Cuスペクトルの成分分離、定量、膜厚算出

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。
主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。
以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。
(クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価

【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価 製品画像

Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。
主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。
各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。
(クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。) (詳細を見る

取扱会社 【分析事例】Cu表面のXPSによる酸化状態評価_0047

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受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします! 半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。 まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. 1、2号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. 1、2号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. 1、2号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。

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