一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2021-04-29 17:33:52.0
HAADF-STEM像とは_B0088
基本情報HAADF-STEM像とは_B0088
HAADF-STEM: 高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法
HAADF-STEM像について紹介しています。
【分析事例】HAADF-STEM像とは
■原理
HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます。
■特徴
Z2ρが大きな材料の方がより高角に散乱される
↓
重い元素はSTEM像では暗く、HAADF-STEM像では明るい
原子量(Z)に比例したコントラストが得られることから、Zコントラスト像とも呼びます。 (詳細を見る)
取扱会社 HAADF-STEM像とは_B0088
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