一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-07-29 13:54:05.0
【分析事例】Siウエハ ベベル部の汚染評価
基本情報【分析事例】Siウエハ ベベル部の汚染評価
金属成分と有機成分を同時に評価可能です
分析の事例をご紹介します
【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価
半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました(図2)。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属(Cr)成分・有機物成分と一致していることがわかりました。
TOF-SIMSにてベベル部(端面と傾斜面)の汚染の発生工程を捉える事が可能です。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】Siウエハ ベベル部の汚染評価
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