ＭＳＰ－２０－ＵＭ型　マグネトロンスパッタ06

基本情報ＭＳＰ－２０－ＵＭ型　マグネトロンスパッタ

電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す為のマグネトロンスパッタ装置です。

マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＵＭ型は電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍します。

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス〇スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ処理装置、プラズマCVD装置、RFスパッタ装置、真空コンポーネント

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