マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－１Ｓ型の製品カタログ01

低価格・低ダメージ型 低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。

この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。