マグネトロンスパッタ装置　ＭＳＰ－２０－ＴＫ型の製品カタログ06

ＦＥ－ＳＥＭ向けタングステンコーター MO/Cr/Ni/Cuなどの金属をコーティングすることが可能です。

この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。煩雑な操作手順を必要としない操作性を持っています。
ターゲット材料は主にタングステンを使用し、その他の特殊金属においてもコーティング可能な金属は多数存在します。
電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。