真空蒸着装置　ＶＥ－２０３０型の製品カタログ11

多種オプション対応型 ターボモレキュラーポンプ（ＴＭＰ）排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
TMP はロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
VE-2030 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。ご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。