マルチ製膜装置　VEＳ－１０型の製品カタログ02

この装置は、2つの独立したチャンバーを持った複合装置です。当社製VC100,MSP1S,PIB10の性能を搭載しております。

この装置は、2つの独立したチャンバーを持ち、それぞれカーボン蒸着、マグネトロンスパッタ、親水処理の機能を有する装置です。１台で、当社製ＶＣ－１００Ｓ、ＭＳＰ－１Ｓ、ＰＩＢ－１０，３機種の性能を搭載しております。外付けロータリーポンプ排気で２系統の排気管切換を行っております。
また、それぞれのチャンバーは真空排気と大気解放を独立して行うことが出来、チャンバーは真空の保持が可能です。